工作原理

硅烷与压缩空气接触而自燃或发生氧化反应，生成二氧化硅粉尘

应用场景

采用硅烷燃烧筒+防爆除尘器+洗涤塔处理光伏电池生产过程中PECVD尾气中含有的硅烷和氨气

专利号

ZL 2018 2 0899876.8